Sa razvojem kineske industrije poluprovodnika, razvoj ključnih komponenti za procesnu opremu postao je kritično ograničenje za razvoj opreme. Kako poziv na lokalizaciju domaće poluvodičke tehnologije postaje sve jači, sve više tehnologija uskih grla u industriji poluvodiča će biti prevaziđeno. Na osnovu godina iskustva u industriji poluprovodnika, naša kompanija je razvila servo motor sa šupljim vratilom-velike-brzine za adsorpciju pločica u opremi za oblaganje poluvodiča, razvijanje i čišćenje. Ovaj motor odlikuje se velikim ubrzanjem, širokim rasponom brzina i velikom brzinom odziva, te je naširoko hvaljen od strane kupaca u industriji.
Primjena servo motora sa šupljim vratilom:
Oprema za ekspoziciju i razvijanje (prevlačenje, razvijanje): Glavna oprema za procese fotolitografije, kontrolu premaza, ekspozicije i razvijanja.
Oprema za čišćenje, premazivanje, razvijanje i uklanjanje filma.
Pogodno za fizičko ispiranje, čišćenje čestica i procese prskanja.
Specifikacije proizvoda sa šupljim vratilom i područja primjene:
750W/1000W – 5000, 6000 o/min
Područja primjene (visoki{0}}modeli):
8-inčna i 12-inčna poluvodička oprema.
Procesi kao što su premazivanje, razvijanje, čišćenje i jetkanje.
Maksimalno ubrzanje može doseći 50000 R/S² trenutnog ubrzanja.
Specijalni dizajn kraja vratila osigurava najniži koeficijent opterećenja na kraju vratila.
